Renishaw傳感器是一款超小型五向或六向機(jī)械結(jié)構(gòu)式觸發(fā)測頭系統(tǒng)。雙部件設(shè)計,由測頭本體和可分離測針模塊組成,使用高重復(fù)性磁接頭連接。因此具備了手動或自動更換測針配置的功能,無需重新標(biāo)定測針端部,大大節(jié)省了檢測循環(huán)的時間。
模塊具有多種觸發(fā)力,使測頭性能能夠*符合測量需求。還有一系列測頭加長桿及一個六向模塊可供選擇。測針安裝螺紋與雷尼紹M2系列的測針匹配??煞奖愕赜糜谧鴺?biāo)測量機(jī)系統(tǒng)的改造,并與現(xiàn)有觸發(fā)式測頭接口、加長桿和轉(zhuǎn)接頭兼容。
系統(tǒng)組件包括:
·TP20測頭體。
·TP20測頭模塊—七種不同選擇,以適應(yīng)各種應(yīng)用。
·MCR20模塊交換架—自動操作。
·MSR1模塊存放架—手動操作。
·適合與雷尼紹的PI4-2、PI7-2或PI200連接。
Renishaw傳感器的產(chǎn)品特征如下:
–適合在UHV環(huán)境下使用的值真空式光柵。
–由真空兼容材料和粘合劑制成,出氣率低。
–殘余氣體分析經(jīng)驗證不會污染真空環(huán)境。
–120°C烘焙溫度。
–非接觸開放式光學(xué)系統(tǒng)提供高速、可靠的操作,摩擦和磨損均為零。
–具備工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的模擬和數(shù)字輸出,分辨率達(dá)1nm。
–電耗低、發(fā)熱小。
–無氣密孔。
–自適應(yīng)電路可提供長期可靠性和低電子細(xì)分。