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產(chǎn)品中心
日本進口OKKSG大宮工業(yè)晶圓移載機OTS-15

日本進口OKKSG大宮工業(yè)晶圓移載機OTS-15

簡要描述:

日本進口OKKSG大宮工業(yè)晶圓移載機OTS-15
OTD-25
OTD-35
類型表達式
OTS-15
OTS-15
(獨立)
OTD-25
OTD-25
(桌面類型)
OTD-35
OTD-35
(桌面類型)
步進數(shù)I. 舞臺
(盒式×1)II 階段
(盒式× 1, 船× 1)III 階段
(盒式× 2, 船× 1)
驅(qū)動系統(tǒng)電機驅(qū)動(伺服)
轉(zhuǎn)移格式1ca 異種盒間移載1ca t

產(chǎn)品型號:OTD-25

產(chǎn)品時間:2024-05-22

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日本進口OKKSG大宮工業(yè)晶圓移載機OTS-15

OTD-25

OTD-35

特點

粒子生成預(yù)防

電機驅(qū)動可防止顆粒生成。

*的晶圓夾頭結(jié)構(gòu)

我們*的晶圓夾頭結(jié)構(gòu)可抑制晶圓輸送過程中的晃動,確保轉(zhuǎn)移到石英船,并準確、安全地運輸重物,如化合物晶圓

特點

粒子生成預(yù)防

電機驅(qū)動可防止顆粒生成。

*的晶圓夾頭結(jié)構(gòu)

我們*的晶圓夾頭結(jié)構(gòu)可抑制晶圓輸送過程中的晃動,確保轉(zhuǎn)移到石英船,并準確、安全地運輸重物,如化合物晶圓

類型表達式
OTS-15
OTS-15
(獨立)
OTD-25
OTD-25
(桌面類型)
OTD-35
OTD-35
(桌面類型)
步進數(shù)I. 舞臺
(盒式×1)
II 階段
(盒式× 1, 船× 1)
III 階段
(盒式× 2, 船× 1)
驅(qū)動系統(tǒng)電機驅(qū)動(伺服)
轉(zhuǎn)移格式1ca 異種盒間移載1ca to 1bt 雙向移載2ca to 1bt 雙向移載
轉(zhuǎn)移
斯皮德
Min40秒
+
盒式交換時間
Min50 秒(可調(diào)節(jié))Min90 秒(可調(diào)節(jié))
設(shè)備尺寸W400×D510×H1187(㎜)W433×D490×H625(㎜)W629×D490×H625(㎜)
安全機制盒有無、晶片有無、過載檢測、異常警報、緊急停止
電源AC200V(50/60Hz)


日本進口OKKSG大宮工業(yè)晶圓移載機OTS-15

半導(dǎo)體和零件制造設(shè)備


  • 旋轉(zhuǎn)干燥機

    它是一種通過旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力和吸入氣流的作用來
    干燥晶圓上的水滴和水分的裝置。



  • 晶圓移載機

    將晶圓從載體或載體雙向傳輸?shù)?br _istranslated="1" style="box-sizing: border-box;"/>船的設(shè)備。



  • 托架清洗機
    托架清洗機

    晶圓載體和載體盒的
    清潔和干燥設(shè)備。



  • 晶圓安裝器

    具有層壓機和安裝器兩種
    功能的膠帶貼片裝置。



  • BG 膠帶層壓機

    用于粘貼用于表面保護的背磨
    膠帶的自動設(shè)備。



  • 磁帶刪除器

    使用剝離膠帶剝離保護膜(如晶圓或貼在基板上的 BG 膠帶)的設(shè)備。



  • 紫外線照射機

    UV 固化膠帶/薄膜的紫外線照射和
    固化設(shè)備。



  • 晶圓擴展器

    它是一種晶圓擴展裝置,只需輕輕一觸,即可嵌入夾持環(huán)并
    切割膠帶。




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